非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
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概要
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This paper reports a new photo-fabrication method of an actuator unit from a shape memory alloy (SMA) pipe. Three meandering actuators, which are linked one another, have been fabricated from an SMA pipe. The outer diameter and the wall thickness of the pipe are 600µm and 50µm, respectively. After the SMA pipe was dip coated with positive photoresist, the photoresist was patterned by using projection exposure method for an etching mask. The SMA pipe was electrochemically etched in the LiCl-ethanol solution with a Cu dummy layer, which was deposited on the inside wall of the pipe by electroless plating previously. The batch fabrication method can simplify the assembly of an active catheter, because the actuators are fabricated as a self-assembled unit.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-05-01
著者
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江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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芳賀 洋一
東北大学
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芳賀 洋一
東北大学大学院工学研究科
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峯田 貴
弘前大学理工学部
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峯田 貴
山形工業技術センター
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江刺 正喜
東北大学
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峯田 貴
山形県工業技術センター
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芳賀 洋一
東北大学大学院医工学研究科 医工学専攻
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