静電駆動アクチュエータを用いた多チャンネル可変光減衰器の開発

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概要

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• 2004-05-12

著者

• 江刺 正喜

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 渡辺 信一郎

  モリテックス

• 牟田 健一

  モリテックス

• 江刺 正喜

  東北大学

• 堀尾 浩司

  モリテックス

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