MEMS総論 (特集 MEMS(微小電気機械システム)の開発・最前線)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• アグネ技術センターの論文

著者

• 江刺 正喜

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 江刺 正喜

  東北大学 原子分子材料科学高等研究機構

関連論文

• 半導体微細加工技術による電子部品の製造(小さく収める)
• アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
• 集積化MEMSとバイオメディカルMEMS(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
• MEMSワイヤレスセンサ
• 形状記憶合金アクチュエータを応用した人工食道開発(医工学連携の新展開)
• 615 内視鏡的レーザー治療用圧電2次元マイクロスキャナー(GS-3 手術・治療,一般セッション,学術講演)
• 536 体内における超音波治療のための収束超音波トランスデューサの開発(GS-14 診断・治療,一般セッション,学術講演)
• C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
• 陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
• 超音波センサを搭載した脊髄虚血モニタリングドレナージカテーテル
• カテーテル実装に適した血管内MRIプローブの開発
• 非平面フォトファブリケーションによるカテーテル搭載型血管内MRIプローブの開発
• LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
• 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
• シリコンマイクロホンの試作と音響特性評価
• 非平面微細加工技術を用いた細径能動屈曲電子内視鏡の作製
• マイクロ・ナノマシニング技術を用いた低侵襲医療機器の開発(低侵襲医療技術と精密工学)
• 円筒面レーザプロセスを用いた低侵襲医療機器の開発
• 血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
• 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発
• MEMS技術の変遷と応用
• D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
• イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
• カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
• アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
• マイクロマシン/MEMS(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• MEMSのウェーハレベルパッケージング(先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文)
• 産業再活性化に向けて : マイクロセンサや低侵襲医療ツールの研究経験から(日本のME産業発展における真の問題点と解決策)
• CT-1-2 MEMSデバイスに関わる材料とプロセス技術(CT-1. サスティナブル社会のための先端デバイス・材料とプロセス技術の現在と未来,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
• マイクロアクチュエータ利用のMEMS(アクチュエータ,チカラのみなもと)
• 安全のためのMEMSセンサ
• CT-2-1 MEMS関連のビジネス化(CT-2.ナノ・メカ・バイオ機能材料のデバイス・システムへの応用の新展開,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
• 《第8回》 マイクロセンサ
• 超微細加工への挑戦 : シリコン・マイクロマシニング(創立100周年記念 これからのつくる技術)
• 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー -センサー・マイクロマシンの研究開発-
• MEMSデバイス : 実用化動向
• マイクロマシン/MEMSと信頼性(「信頼性・保全性・安全性の事例:機械装置とシステム編」〜信頼性ハンドブック出版から10年を経て〜)
• カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
• 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
• MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
• アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
• 309 形状記憶合金コイルと磁気ラッチを用いた視覚障害者用 2 次元触覚ディスプレイの開発
• E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
• 2202 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
• 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究 : 第2報
• 近接場光増強のための表面プラズモングリッドの作製
• D241 携帯用パワー源のためのマイクロリアクタ
• ベローズ型静電マイクロアクチュエータ
• テレメタリング方式による排尿動態検査法について : 第1報 : 超小型圧力センサーの試用 : 第45回東部連国総会
• 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
• Deep ICPRIEとXeF_2ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ
• 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
• Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ
• GHz駆動磁性薄膜インダクタの試作プロセス
• P32-02 3 次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
• 静電駆動アクチュエータを用いた多チャンネル可変光減衰器の開発
• A212 体腔内治療用 2 次元マイクロスキャナーの開発
• 多軸切削加工によるマイクロターボ機械の試作
• 404 圧電駆動マイクロ 2 次元スキャナーを用いた体腔内レーザー治療用デバイスの開発
• A210 血管内前方観察超音波プローブの開発
• 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究
• 503 硬質膜のパターニング技術を用いた磁性材料のマイクロファブリケーション(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
• 室温での導電性物質のレーザ支援CVD
• ミミズのような蠕動運動システム
• CWUVレーザCVDによる室温での導電パターン描画
• MEMSセンサとセンシング技術
• 歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発
• 歯の噛み合い力と相対位置検出センサシステム
• 溝加工と電解メッキによる積層圧電アクチュエータの製作
• 溝加工と電解メッキによる積層型圧電アクチュエータの試作
• 微量液体分析用ワンチップ水晶センサ(QCM)の製作
• 3329 マイクロ固体ロケットアレイスラスタの開発研究
• 非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
• 111 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術
• 集積化MEMSとバイオメディカルMEMS(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
• MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
• 専門家間のMEMS技術相互理解(専門家間の科学技術相互理解, 科学技術の相互理解)
• MEMS総論 (特集 MEMS(微小電気機械システム)の開発・最前線)
• MEMS研究の実用化と産学間連携研究 (特集:ナノテクノロジーにおけるMEMSとその応用)
• フレキシブル薄膜フィルムを用いた能動カテーテル用通信制御集積回路
• 高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
• マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
• 2810 カーボンナノチューブの電界誘起成長とそのプローブ顕微鏡への応用
• カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針作製への応用
• 2203 MEMS 技術を用いたマイクロターボ機械
• 光導波路を用いた能動カテーテル用屈曲センサの開発
• AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
• TC-1-3 バイメタルスイッチ
• シリコン振動型角速度センサ
• 高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察
• 生化学合成用の静電型マイクロポンプの開発
• 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
• 燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造
• MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
• マイクロシステム研究の経験から考える工学教育
• LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
• 25pTN-13 J-PARCミュオンg-2/EDM精密測定の為のミュオン源開発(2) : シリカエアロジェル標的のミュオニウム生成効率及び拡散のイメージング測定(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 25pTN-12 J-PARCミュオンg-2/EDM精密測定の為のミュオン源開発(1) : MuSRによるミュオニウム標的の選別(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク