イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
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概要
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- 2008-06-12
著者
-
小野 崇人
東北大学
-
江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
-
江刺 正喜
東北大学wpi-aimr
-
川合 祐輔
東北大学
-
関 博紀
東北大学
-
小野 崇人
東北大学大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学
-
小野 崇人
東北大
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