モノリシックPZT多軸マイクロステージ (特集 MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 27pPSA-47 磁気共鳴力顕微鏡の開発V : 磁石搭載カスタムカンチレバーを用いた3D-ESR-MRI(領域3ポスターセッション(量子スピン系・フラストレーション系等),領域3,磁性,磁気共鳴)
- シリコン技術
- 光ファイバーを用いた低侵襲医療用マイクロデバイス (特集 医療用ガラス)
- イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
- カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
- 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング
- カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
- 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
- MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して (特集 光MEMSの現状と展望)
- MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点とその狙い (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
- クリーンエネルギーの町「くずまき」の取り組み
- モノリシックPZT多軸マイクロステージ (特集 MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい)
- シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子
- K16 ナノ構造を集積化したマイクロシステムとその応用
- 光による計測・分析技術の生命科学工学分野への新展開
- ナノテクノロジーのためのツールとしてのMEMS
- 近接場光学とMEMS技術
- MEMSとナノテクノロジー
- 近接場光増強のための表面プラズモングリッドの作製
- マイクロマシンとナノプローブ
- [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス, MEMS, 一般)
- [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般)
- マイクロマシニングとナノプローブ(加工・記録)(近接場科学の工学応用をめざして)
- 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
- 高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術の将来
- Nanomechanical Structure with Integrated Carbon Nanotube
- Pattern Transfer of Self-Ordered Structure with Diamond Mold
- Mechanical Energy Dissipation of Multiwalled Carbon Nanotube in Ultrahigh Vacuum
- ナノリソグラフィーをめざすマイクロシステム (特集 ナノ加工技術)
- 高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
- マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
- 2810 カーボンナノチューブの電界誘起成長とそのプローブ顕微鏡への応用
- MEMSからNEMSへ
- ナノメカニクス(ナノテクノロジー)
- 高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作 (特集 ナノ・フォトニクス)
- 高密度記録を目指すマルチプローブ
- 光記録用マイクロマシン (特集 最近のMEMS技術)
- AFM応用などに可能性が広がるナノマシニング技術 (特集 ナノテクノロジー)
- カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針作製への応用
- 近接場光学シリコンプローブのためのサブミクロン開口の作製
- LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
- カーボンナノチューブの選択成長とデバイスへの応用
- 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- SPMとマイクロマシニング
- STMを用いた微細構造体の作製
- 電磁駆動型ねじれ振動子の走査型プローブ顕微鏡への応用
- 713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- ナノマシニングと近接場応用
- LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
- LSI-体型赤外線リニアセンサアレイの開発
- 3 ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ(マイクロマシンの現状と動向)
- シリコンエッチング技術のアプリケーション
- 走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用
- ナノメートル加工の応用(2) -ナノメカニックスへの応用-
- ナノ計測を可能にするツール
- 狭ギャップマイクロ熱電子発電の基礎実験
- 162 光制御型電子線露光用マイクロ電子源アレイの作製(生産加工・工作機械/設計工学・システム/機械材料・材料加工,一般講演)