[招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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MEMS(微小電気機械システム)やNEMS(ナノ電気機械システム)が半導体微細加工を発展させたマイクロマシニングやナノマシニング技術で製作できる。シリコンのリング回転子が静電的に浮上して毎分12,000回転で回り、高性能な回転ジャイロとして使えるものがMEMSで開発された。マルチプローブのデータ記録装置やマルチ鏡筒電子ビーム露光装置のような配列構造のシステムを開発している。マルチプローブデータ記録装置のためにパターンドメディアを作るためのナノモールディングやモノリシック6軸ステージの開発も行った。厚さ数十nmのシリコン梁を用いて高感度なセンサを製作でき、カーボンナノチューブの水素吸蔵の測定、あるいは容量型原子間力顕微鏡と走査型近接場光顕微鏡として同時に使えるプローブなどがマイクロナノマシニングで製作された。
- 2003-08-26
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