3 ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ(<特集>マイクロマシンの現状と動向)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2000-09-05

著者

• 小野 崇人

  東北大学

• 江刺 正喜

  東北大学

関連論文

• 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 27pPSA-47 磁気共鳴力顕微鏡の開発V : 磁石搭載カスタムカンチレバーを用いた3D-ESR-MRI(領域3ポスターセッション(量子スピン系・フラストレーション系等),領域3,磁性,磁気共鳴)
• 形状記憶合金アクチュエータを応用した人工食道開発(医工学連携の新展開)
• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
• C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
• 陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
• 超音波センサを搭載した脊髄虚血モニタリングドレナージカテーテル
• 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
• 非平面フォトファブリケーションによるカテーテル搭載型血管内MRIプローブの開発
• LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
• 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
• シリコン技術
• シリコンマイクロホンの試作と音響特性評価
• マイクロマシニング・MEMS技術を用いた低侵襲医療機器の開発
• 光マイクロスキャナーの低侵襲医療への応用 (特集 光で/を動かす技術)
• 光ファイバーを用いた低侵襲医療用マイクロデバイス (特集 医療用ガラス)
• 血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
• 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発
• S0305-1-4 プロトン導電性電解質を用いた中低温作動マイクロSOFCの作製と発電特性(SOFC構成材料の信頼性(1))
• イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
• カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
• 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング
• カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
• 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
• MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して (特集 光MEMSの現状と展望)
• MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
• E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
• 2202 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
• 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究 : 第2報
• 東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点とその狙い (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
• クリーンエネルギーの町「くずまき」の取り組み
• モノリシックPZT多軸マイクロステージ (特集 MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい)
• シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子
• K16 ナノ構造を集積化したマイクロシステムとその応用
• 光による計測・分析技術の生命科学工学分野への新展開
• ナノテクノロジーのためのツールとしてのMEMS
• 近接場光学とMEMS技術
• MEMSとナノテクノロジー
• 近接場光増強のための表面プラズモングリッドの作製
• マイクロマシンとナノプローブ
• [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス, MEMS, 一般)
• [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般)
• マイクロマシニングとナノプローブ(加工・記録)(近接場科学の工学応用をめざして)
• 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
• ベローズ型静電マイクロアクチュエータ
• 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
• 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
• Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ
• P32-02 3 次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
• DWDM用MEMS光アッテネータ
• 静電駆動アクチュエータを用いた多チャンネル可変光減衰器の開発
• 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究
• 503 硬質膜のパターニング技術を用いた磁性材料のマイクロファブリケーション(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
• 多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
• MEMS技術
• 室温での導電性物質のレーザ支援CVD
• ミミズのような蠕動運動システム
• CWUVレーザCVDによる室温での導電パターン描画
• 歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発
• 歯の噛み合い力と相対位置検出センサシステム
• 高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術の将来
• 溝加工と電解メッキによる積層圧電アクチュエータの製作
• 溝加工と電解メッキによる積層型圧電アクチュエータの試作
• Nanomechanical Structure with Integrated Carbon Nanotube
• Pattern Transfer of Self-Ordered Structure with Diamond Mold
• Mechanical Energy Dissipation of Multiwalled Carbon Nanotube in Ultrahigh Vacuum
• ナノリソグラフィーをめざすマイクロシステム (特集 ナノ加工技術)
• 微量液体分析用ワンチップ水晶センサ(QCM)の製作
• 非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
• フレキシブル薄膜フィルムを用いた能動カテーテル用通信制御集積回路
• 高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
• マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
• 2810 カーボンナノチューブの電界誘起成長とそのプローブ顕微鏡への応用
• MEMSからNEMSへ
• ナノメカニクス(ナノテクノロジー)
• 高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作 (特集 ナノ・フォトニクス)
• 高密度記録を目指すマルチプローブ
• 光記録用マイクロマシン (特集 最近のMEMS技術)
• AFM応用などに可能性が広がるナノマシニング技術 (特集 ナノテクノロジー)
• カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針作製への応用
• 屈曲, ねじれ, 伸長能動カテーテルの電気めっきによる組み立て
• 形状記憶合金コイルを用いた細径能動カテーテル
• 光導波路を用いた能動カテーテル用屈曲センサの開発
• 近接場光学シリコンプローブのためのサブミクロン開口の作製
• カーボンナノチューブの選択成長とデバイスへの応用
• 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• SPMとマイクロマシニング
• STMを用いた微細構造体の作製
• 電磁駆動型ねじれ振動子の走査型プローブ顕微鏡への応用
• 713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
• ナノマシニングと近接場応用
• LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
• LSI-体型赤外線リニアセンサアレイの開発
• 3 ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ(マイクロマシンの現状と動向)
• シリコンエッチング技術のアプリケーション
• 走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用
• ナノメートル加工の応用(2) -ナノメカニックスへの応用-
• ナノ計測を可能にするツール
• 162 光制御型電子線露光用マイクロ電子源アレイの作製(生産加工・工作機械/設計工学・システム/機械材料・材料加工,一般講演)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク