LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
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概要
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- 2010-06-17
著者
-
田中 秀治
東北大学大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
-
松村 武
情報通信研究機構(NiCT)
-
田中 秀治
東北大学
-
江刺 正喜
東北大学wpi-aimr
-
松尾 幸祐
東北大学
-
松村 武
情報通信研究機構
-
江刺 正喜
東北大学
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