AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-02-28
著者
-
田中 秀治
東北大学大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
-
原田 博司
情報通信研究機構(nict)
-
Harada Hiroshi
NICT
-
松村 武
情報通信研究機構(NiCT)
-
田中 秀治
東北大学
-
江刺 正喜
東北大学wpi-aimr
-
原田 博司
情報通信研究機構
-
松村 武
情報通信研究機構
-
HARADA Hiroshi
New Generation Wireless Communications Research Center National Institute of Information and Communi
-
原田 博司
横浜市立大学 医学部整形外科学教室
-
江刺 正喜
東北大学
-
原田 博
独立行政法人情報通信研究機構象
-
江刺 正喜
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科
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