Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子(<特集>周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
本論文では,LSI上に作製可能なプロセスであるGeを犠牲層に用いて,AlNの上下面を境界として伝搬する高速のラム波を利用した圧電AlNラム波共振子を開発した.本共振子は,RFスパッタ装置により形成されたMo下部電極上にc軸配向したAlN膜を連続形成し,その上部にMoのIDT(Interdigital Transducer)電極を形成したMo/AlN/Mo-IDT構造を有する.また,共振子下部を浮かせたエアギャップ構造を得るために,Ge犠牲層は硝酸第二セリウムアンモニウムをベースとしたエッチャントにて溶解し除去した.本共振子を評価した結果,共振周波数616.9MHzにおいてQ値1,248,等価直列抵抗96Ω,電気機械結合係数0.09%の特性が得られた.
- 2013-06-01
著者
関連論文
- 超小形ガスタービン発電機の現状 : 達成点と課題の整理(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 24・2 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 24・4 Power MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
- 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(水素・燃料電池,第13回動力・エネルギー技術シンポジウム)
- C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- PowerMEMS 2007 The 7th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications
- RF MEMSの最新技術動向
- 2114 宇宙機器のためのトライボコーティング法を用いた超小型潤滑システム(OS2-3 トライボロジーとその応用(3))
- 305 宇宙機器潤滑のためのトライボコーティング潤滑法を用いた自己修復システムの研究(学生賞 I,2.学術講演)
- 408 トライボコーティング法を用いた超小型潤滑システムの開発(学生賞IV)
- パワー微小電気機械システム(Power MEMS)
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- 世界最小のガスタービンエンジン
- 陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
- OS1-11 携帯型燃料電池用マイクロターボポンプ(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
- OS1-8 直径10mmの超小型遠心圧縮機の性能評価(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
- OS1-5 MEMS静圧軸受の高性能化(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
- マイクロガスタービンおよび人工震源への気体軸受の応用--気体軸受の常識が変わる
- 3609 MEMSタービンのための静圧空気軸受(S56-2 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術(2),S56 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術)
- 3608 マイクロマシン・ガスタービン用超高速慣性軸受の開発(S56-2 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術(2),S56 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術)
- 3607 マイクロ燃焼器に空気を供給するためのMEMSエゼクタ : 実験結果とCFDシミュレーションとの比較(S56-2 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術(2),S56 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術)
- OS1-08 マイクロマシン・ガスタービン用超小形超高速慣性空気軸受の開発(OS1 マイクロエネルギー変換)
- OS1-07 超厚膜フォトレジストを用いたマイクロインペラの製作と小形空気ポンプへの応用(OS1 マイクロエネルギー変換)
- マイクロ固体ロケットアレイ
- 超小形超高速空気軸受の開発とμマシンターボチャージャへの適用(FR1 マイクロエネルギー変換)
- 小形パワー源に空気を取り入れる(FR1 マイクロエネルギー変換)
- 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
- LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
- 割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計
- 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
- 携帯燃料電池システムの開発
- S0305-1-4 プロトン導電性電解質を用いた中低温作動マイクロSOFCの作製と発電特性(SOFC構成材料の信頼性(1))
- D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
- E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
- 2202 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
- 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究 : 第2報
- 24・4 Power MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- D241 携帯用パワー源のためのマイクロリアクタ
- 超小形ガスタービン発電機の現状 : 達成点と課題の整理
- P32-02 3 次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
- 小形ガスタービン用水素燃焼器の開発
- C-2 超小型ターボ発電機の燃焼器開発(燃焼I)
- マイクロターボ機械
- エレクトレットを用いた高出力静電モータ・発電機の設計
- 多軸切削加工によるマイクロターボ機械の試作
- 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究
- 多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
- MEMS技術
- 186 MEMS技術を用いたシリコンウェハー上への固体酸化物型燃料電池の構築(環境工学/動力エネルギーシステム)
- 3329 マイクロ固体ロケットアレイスラスタの開発研究
- マイクロマシニング技術を用いるマイクロパワー源
- 反応性イオンエッチングを用いるセラミックスの微細加工
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
- MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- KN2-1 超小形ガスタービン発電機に関する研究のこれまでの総括(KN2 機械工学分野の「マイクロ・ナノ」)
- Power Microelectromechanical Systems(Power MEMS) (第6回ウェアラブル情報機器シンポジウム小特集号)
- 2203 MEMS 技術を用いたマイクロターボ機械
- ボロハイドライドを用いた水素供給とサンドブラストによる小形燃料電池の試作
- AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- 高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察
- ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
- 燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造
- MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
- 汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
- 携帯機器用燃料電池のためのMEMS
- PowerMEMS 2005 : The Fifth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications 報告
- 携帯型燃料電池のためのMEMS (特集 流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化)
- 圧電・超音波材料 圧電音響デバイスの集積化 : 異種要素の集積化による圧電音響デバイスの高機能化・高性能化
- 高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
- MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
- 高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法
- ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
- マイクロ振動発電機の設計論
- 超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化
- LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
- 湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
- 高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
- Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
- 双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
- 156 ランタンスカンデート系プロトン導電体を用いた中低温作動μSOFC(エンジンシステム/動力エネルギシステム,一般講演)
- C-12-33 FBARを用いた低位相雑音マルチバンドVC Oの設計(VCO・PLL・CDR,C-12.集積回路,一般セッション)
- Geを犠牲層に用いた圧電AINラム波共振子