双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子(<特集>周波数発生・制御デバイスの新展開論文)

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概要

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• 二つの圧電AlN円板振動子を,双音さ形結合子を用いて接続することにより,接続後も二つ振動子は基本モードで対称伸び振動することを,有限要素法解析で明らかにした.また,Si基板上に,MEMSプロセスを用いて,双音さ形結合子を用いたAlN対称伸び円板振動子を作製し,電気特性を測定した結果,共振周波数59.1MHzにおいて等価直列抵抗25.9Ω,Q値2,720,電気機械結合係数2.22%の良好な共振特性が得られた.

• 2013-06-01

著者

• 木村 悟利

  日本電波工業株式会社先端技術開発センター

• 齊藤 健史

  日本電波工業株式会社先端技術開発センター

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