木村 悟利 | 日本電波工業株式会社先端技術開発センター
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概要
関連著者
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木村 悟利
日本電波工業株式会社先端技術開発センター
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田中 秀治
東北大学大学院工学研究科
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平野 圭介
日本電波工業株式会社先端技術開発センター
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江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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江剌 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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齊藤 健史
日本電波工業株式会社先端技術開発センター
著作論文
- Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
- 双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
- Geを犠牲層に用いた圧電AINラム波共振子