Geを犠牲層に用いた圧電AINラム波共振子

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概要

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• 2013-06-01

著者

• 田中 秀治

  東北大学大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 平野 圭介

  日本電波工業株式会社先端技術開発センター

• 木村 悟利

  日本電波工業株式会社先端技術開発センター

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