MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
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概要
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- 2012-05-01
著者
-
田中 秀治
東北大学大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学 原子分子材料科学高等研究機構
-
田中 秀治
東北大学 大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学
-
江刺 正喜
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 康久
東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
-
畠山 庸平
東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
-
畠山 庸平
東北大学 大学院工学研究科
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