田中 秀治 | 東北大学 大学院工学研究科

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概要

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関連著者

• 田中 秀治

  東北大学 大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学 原子分子材料科学高等研究機構

• 室山 真徳

  東北大学 原子分子材料科学高等研究機構

• 巻幡 光俊

  東北大学 大学院工学研究科

• 田中 秀治

  東北大学大学院工学研究科

• 巻幡 光俊

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 江刺 正喜

  東北大学

• 松崎 栄

  東北大学 大学院工学研究科

• 山田 整

  トヨタ自動車(株)パートナーロボット部

• 山口 宇唯

  トヨタ自動車(株)パートナーロボット部

• 中山 貴裕

  トヨタ自動車(株)パートナーロボット部

• 江刺 正喜

  東北大学wpi-aimr

• 江刺 正喜

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科

• 中野 芳宏

  東北大学 江刺・田中（秀）研究室

• 野々村 裕

  （株）豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 室山 真徳

  東北大学

• 畠山 庸平

  東北大学 大学院工学研究科

• 中野 芳宏

  東北大学 江刺・田中 (秀) 研究室

• 小野 崇人

  東北大学

• 野々村 裕

  (株)豊田中央研究所 情報・エレクトロニクス部

• 野々村 裕

  株式会社豊田中央研究所

• 野々村 裕

  豊田中研

• 小野 崇人

  東北大学 大学院工学研究科

• 日野 龍之介

  東北大学 大学院工学研究科

• 松村 武

  東北大学 大学院工学研究科

• 田中 秀治

  東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻

• 引地 広介

  東北大学 大学院医工学研究科

• 藤吉 基弘

  （株）豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 中山 貴裕

  トヨタ自動車株式会社

• 山口 宇唯

  トヨタ自動車株式会社

• 山田 整

  トヨタ自動車株式会社パートナーロボット部

• 畠山 庸平

  東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻

• 野々村 裕

  (株) 豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 野々村 裕

  (株)豊田中央研究所

• 野々村 裕

  （株）豊田中央研究所

• 中山 貴裕

  豊田自動車（株） パートナーロボット部

• 山口 宇唯

  豊田自動車（株） パートナーロボット部

• 船橋 博文

  （株）豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 中野 芳弘

  東北大学 江刺・田中（秀） 研究室

• 山田 整

  豊田自動車（株） パートナーロボット部

• 畑 良幸

  （株）豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 山口 宇唯

  豊田自動車 (株) パートナーロボット部

• 中山 貴裕

  豊田自動車 (株) パートナーロボット部

• 山田 整

  豊田自動車 (株) パートナーロボット部

• 松村 武

  情報通信研究機構(NiCT)

• 十合 晋一

  東北学院大学

• 引地 広介

  東北大学 大学院工学研究科

• 川合 祐輔

  東北大学

• 松村 武

  情報通信研究機構

• 藤吉 基弘

  株式会社豊田中央研究所

• 藤吉 基弘

  (株)豊田中央研究所

• 江刺 正喜

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 安部 隆

  東北大学 大学院工学研究科

• 小野 崇人

  東北大

• 毛利 護

  ニッコー(株)

• 鈴木 康久

  東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻

• 藤吉 基弘

  (株) 豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 毛利 護

  ニッコー(株)技術統括部・研究開発部

• 野々村 裕

  (株)豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 江刺 正喜

  東北大学 江刺・田中(秀)研究室

• 川合 祐輔

  東北大学 大学院工学研究科

• 森山 雅昭

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

• 藤吉 基弘

  (株)豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 中野 芳宏

  東北大学 江刺・田中(秀)研究室

• 松崎 栄

  東北大学 江刺・田中(秀)研究室

• 室山 真徳

  東北大学 江刺・田中(秀)研究室

• 巻幡 光俊

  東北大学 江刺・田中(秀)研究室

• 江刺 正喜

  東北大学 江刺・田中（秀） 研究室

• 巻幡 光俊

  東北大学 江刺・田中（秀） 研究室

• 田中 秀治

  東北大学 江刺・田中 (秀) 研究室

• 船橋 博文

  (株) 豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

• 畑 良幸

  (株) 豊田中央研究所 パワーエレクトロニクス研究部

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著作論文

• 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
• 割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計
• 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• 超小形ターボ機械のための超高速気体軸受
• ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
• 超小形ガスタービン(すごーく小さいもの)
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
• MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
• ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
• シリコンエッチング技術のアプリケーション
• MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
• LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
• MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
• RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ : 物理モデルを用いた設計と試作によるその検証
• CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
• CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
• 35Mbps非同期バス通信型触覚センサシステムの開発

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