超小形ターボ機械のための超高速気体軸受
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-03-15
著者
関連論文
- 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
- 割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計
- E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
- 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
- ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
- ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
- 超小形ターボ機械のための超高速気体軸受
- ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
- 携帯機器用燃料電池のためのMEMS
- PowerMEMS 2005 : The Fifth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications 報告
- 超小形ガスタービン(すごーく小さいもの)
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
- MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
- ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
- マイクロ振動発電機の設計論
- シリコンエッチング技術のアプリケーション
- MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
- LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
- MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
- RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ : 物理モデルを用いた設計と試作によるその検証
- CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
- CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
- 35Mbps非同期バス通信型触覚センサシステムの開発
- 最近の気体軸受あれこれ : 小さなものから大きなものまで