小野 崇人 | 東北大学 大学院工学研究科
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概要
関連著者
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小野 崇人
東北大学
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東北大学 大学院工学研究科
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東北大
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著作論文
- ナノテクノロジーのためのツールとしてのMEMS
- マイクロマシンとナノプローブ
- 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
- 近接場光学シリコンプローブのためのサブミクロン開口の作製
- STMを用いた微細構造体の作製
- シリコンエッチング技術のアプリケーション