畠山 庸平 | 東北大学 大学院工学研究科
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概要
関連著者
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江刺 正喜
東北大学 原子分子材料科学高等研究機構
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田中 秀治
東北大学 大学院工学研究科
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畠山 庸平
東北大学 大学院工学研究科
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田中 秀治
東北大学大学院工学研究科
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江刺 正喜
東北大学
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江刺 正喜
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科
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畠山 庸平
東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
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鈴木 康久
東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
著作論文
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
- MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ : 物理モデルを用いた設計と試作によるその検証