OS1-11 携帯型燃料電池用マイクロターボポンプ(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
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概要
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We have developed a process to fabricate micro-to-millimeter-sized plastic parts with multilayer microstructures using new low-stress ultrathick photoresist (XP SU-8 3000 series, Kayaku Microchem). Using this process, a 2-dimensional shrouded impeller with 16mm diameter and 400μm blade height was fabricated for a miniature turbo pump supplying air to portable fuel cells. The impeller was glued onto a high-speed magnetic motor, and rotation speed, flow rate and pressure rise was measured. The impeller generated 6.51/min air flow and 0.16kPa pressure rise at 80000rpm.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-06-28
著者
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