超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化

元データ 2012-06-11

著者

池上 尚克 東京農工大学
綿屋 孝祐 東北大学
宮口 裕 東北大学
室山 真徳 東北大学
田中 秀治 東北大学
小島 明 (株)クレステック
吉田 孝 東北大学・工
江刺 正喜 東北大学
吉田 孝 東北大学
江刺 正喜 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科

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