将来の高密度小形パワー源の基盤技術 超小形ガスタービン発電機
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 24・2 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 24・4 Power MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- PowerMEMS 2007 The 7th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications
- RF MEMSの最新技術動向
- 2114 宇宙機器のためのトライボコーティング法を用いた超小型潤滑システム(OS2-3 トライボロジーとその応用(3))
- 305 宇宙機器潤滑のためのトライボコーティング潤滑法を用いた自己修復システムの研究(学生賞 I,2.学術講演)
- 408 トライボコーティング法を用いた超小型潤滑システムの開発(学生賞IV)
- パワー微小電気機械システム(Power MEMS)
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- 陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
- OS1-8 直径10mmの超小型遠心圧縮機の性能評価(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
- 3608 マイクロマシン・ガスタービン用超高速慣性軸受の開発(S56-2 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術(2),S56 マイクロ・モバイルエネルギー利用技術)
- OS1-08 マイクロマシン・ガスタービン用超小形超高速慣性空気軸受の開発(OS1 マイクロエネルギー変換)
- 超小形超高速空気軸受の開発とμマシンターボチャージャへの適用(FR1 マイクロエネルギー変換)
- LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
- 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
- 2202 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
- 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究 : 第2報
- 24・4 Power MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- P32-02 3 次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
- 小形ガスタービン用水素燃焼器の開発
- C-2 超小型ターボ発電機の燃焼器開発(燃焼I)
- 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究
- 将来の高密度小形パワー源の基盤技術 超小形ガスタービン発電機
- 解説 マイクロマシニングを利用する小形パワー源--マイクロ燃料電池と超小形ガスタービン発電機
- AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- 燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造
- 汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
- Power MEMS (特集 MEMS(微小電気機械システム)の開発・最前線)
- 23・6 POWER MEMS(23.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化
- 湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
- 1Ja3-3 可変SAWフィルタ応用のための金めっきによるMEMS可変容量(圧電デバイス)