1Ja3-3 可変SAWフィルタ応用のための金めっきによるMEMS可変容量(圧電デバイス)

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概要

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• 2012-11-13

著者

• 田中 秀治

  東北大学

• 江刺 正喜

  東北大学

• 橋本 研也

  千葉大学

• 稲葉 真央

  千葉大学

• 稲葉 真央

  千葉大院工

• 平尾 栄樹

  東北大学

• 紺野 彰

  東北大学

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