Deep RIE と Wet Etching を組み合わせた新しい Bulk Micromachining

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概要

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• 1997-11-19

著者

• 江刺 正喜

  東北大学

• 林 根培

  三星総合技術院

• 林 根培

  東北大学

• 白 錫淳

  東北大学

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