林 根培 | 三星総合技術院

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概要

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関連著者

• 林 根培

  三星総合技術院

• 江刺 正喜

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 西澤 充智

  東北大学大学院工学研究科

• 西澤 充智

  東北大・環境科学研究科

• 新妻 弘明

  東北大学大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学大学院工学研究科

• 林 根培

  東北大学大学院工学研究科

• 新妻 弘明

  東北大学大学院環境科学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学

• 林 根培

  東北大学

• 白 錫淳

  東北大学

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著作論文

• マイクロマシニングによるシリコン容量型加速度センサの製作とその特性
• Deep RIE と Wet Etching を組み合わせた新しい Bulk Micromachining
• 地下弾性波検出のための高感度・広帯域容量型加速度センサの開発
• マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第二報)

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