西澤 充智 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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西澤 充智
東北大学大学院工学研究科
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西澤 充智
東北大・環境科学研究科
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新妻 弘明
東北大学大学院工学研究科
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東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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三星総合技術院
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東北大学未来科学技術共同研究センター
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東北大学大学院工学研究科
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新妻 弘明
東北大学大学院環境科学研究科
著作論文
- マイクロマシニングによるシリコン容量型加速度センサの製作とその特性
- 地下弾性波検出のための高感度・広帯域容量型加速度センサの開発
- マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第二報)
- シリコン容量型加速度センサを内臓した小型3軸弾性波検出器の試作およびその特性評価
- シリコン容量型マイクロ加速度センサを用いた小型地下弾性波検出器の試作とその性能評価
- マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作