マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
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概要
著者
-
江刺 正喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
西澤 充智
東北大学大学院工学研究科
-
西澤 充智
東北大・環境科学研究科
-
新妻 弘明
東北大学大学院工学研究科
-
江刺 正喜
東北大学大学院工学研究科
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