マイクロマシニングによるシリコン容量型加速度センサの製作とその特性
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概要
著者
-
江刺 正喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
新妻 弘明
東北大学大学院環境科学研究科
-
西澤 充智
東北大学大学院工学研究科
-
林 根培
三星総合技術院
-
西澤 充智
東北大・環境科学研究科
-
新妻 弘明
東北大学大学院工学研究科
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江刺 正喜
東北大学大学院工学研究科
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