Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ

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概要

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• 1997-11-19

著者

• 江刺 正喜

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 南 和幸

  山口大

• 南 和幸

  東北大学大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学

• 崔 在濬

  東北大

• 崔 在濬

  東北大学

• 南 和幸

  東北大学 機械電子工学科

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