崔 在濬 | 東北大
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概要
関連著者
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江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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南 和幸
山口大
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南 和幸
東北大学大学院工学研究科
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崔 在濬
東北大
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南 和幸
東北大学 機械電子工学科
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江刺 正喜
東北大学
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崔 在濬
東北大学
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江刺 正喜
東北大NICHe
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江刺 正喜
東北大
著作論文
- 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
- Deep ICPRIEとXeF_2ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ
- 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
- Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ