Deep ICPRIEとXeF_2ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ
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概要
著者
-
江刺 正喜
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
-
南 和幸
山口大
-
南 和幸
東北大学大学院工学研究科
-
崔 在濬
東北大
-
江刺 正喜
東北大NICHe
-
南 和幸
東北大学 機械電子工学科
-
江刺 正喜
東北大
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