静電型マイクロポンプの基礎研究
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
-
形状記憶合金アクチュエータを応用した人工食道開発(医工学連携の新展開)
-
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
-
C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
-
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
-
陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
-
超音波センサを搭載した脊髄虚血モニタリングドレナージカテーテル
-
超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
-
非平面フォトファブリケーションによるカテーテル搭載型血管内MRIプローブの開発
-
LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
-
高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
-
シリコンマイクロホンの試作と音響特性評価
-
マイクロマシニング・MEMS技術を用いた低侵襲医療機器の開発
-
光マイクロスキャナーの低侵襲医療への応用 (特集 光で/を動かす技術)
-
血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
-
精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発
-
S0305-1-4 プロトン導電性電解質を用いた中低温作動マイクロSOFCの作製と発電特性(SOFC構成材料の信頼性(1))
-
イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
-
カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
-
カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
-
力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
-
E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
-
2202 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
-
微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究 : 第2報
-
ベローズ型静電マイクロアクチュエータ
-
電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
-
電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
-
Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ
-
P32-02 3 次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
-
DWDM用MEMS光アッテネータ
-
静電駆動アクチュエータを用いた多チャンネル可変光減衰器の開発
-
微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究
-
503 硬質膜のパターニング技術を用いた磁性材料のマイクロファブリケーション(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
-
多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
-
MEMS技術
-
室温での導電性物質のレーザ支援CVD
-
ミミズのような蠕動運動システム
-
CWUVレーザCVDによる室温での導電パターン描画
-
歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発
-
歯の噛み合い力と相対位置検出センサシステム
-
溝加工と電解メッキによる積層圧電アクチュエータの製作
-
溝加工と電解メッキによる積層型圧電アクチュエータの試作
-
微量液体分析用ワンチップ水晶センサ(QCM)の製作
-
非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
-
フレキシブル薄膜フィルムを用いた能動カテーテル用通信制御集積回路
-
高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
-
マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
-
カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針作製への応用
-
屈曲, ねじれ, 伸長能動カテーテルの電気めっきによる組み立て
-
形状記憶合金コイルを用いた細径能動カテーテル
-
光導波路を用いた能動カテーテル用屈曲センサの開発
-
AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
-
AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
-
AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
-
TC-1-3 バイメタルスイッチ
-
シリコン振動型角速度センサ
-
生化学合成用の静電型マイクロポンプの開発
-
ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
-
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
-
燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造
-
細径能動カテーテルための螺旋骨格薄肉チューブ
-
使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
-
微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発
-
マイクロシステム研究の経験から考える工学教育
-
容量型非冷却赤外イメージセンサ
-
マイクロマシニングによる静電浮上モータ
-
静電浮上型慣性計測システムの基礎研究
-
細径能動カテーテルのための螺旋骨格薄肉チューブの開発
-
Deep RIE と Wet Etching を組み合わせた新しい Bulk Micromachining
-
汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
-
静電型マイクロポンプの基礎研究
-
連続紫外レーザによる高速CVDを利用したマイクロアセンブリ
-
カテーテル先端の位置・姿勢を検出する磁気センサシステム
-
カテーテル先端の位置・姿勢を検出する磁気センサシステム
-
広ダイナミック・レンジの加速度センサ
-
センサ・マイクロマシン部門
-
713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
-
圧電・超音波材料 圧電音響デバイスの集積化 : 異種要素の集積化による圧電音響デバイスの高機能化・高性能化
-
電気めっきを用いた細径能動カテーテルの組み立て
-
LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術 (特集 MEMSパッケージングと微細加工技術)
-
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ : 物理モデルを用いた設計と試作によるその検証
-
高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察
-
電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
-
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
-
MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
-
高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法
-
LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
-
ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
-
3 ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ(マイクロマシンの現状と動向)
-
超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化
-
LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
-
湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
-
1Ja3-3 可変SAWフィルタ応用のための金めっきによるMEMS可変容量(圧電デバイス)
-
センサネットワーク用無線・センサデバイス・相互接続性の必要性(Network,MAC,Adhoc関連技術,一般)
もっと見る
閉じる
スポンサーリンク