高密度記録を目指すマルチプローブ

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• レ-ザ-学会の論文
• 2001-08-15

著者

• 小野 崇人

  東北大学

• 江刺 正喜

  東北大学 原子分子材料科学高等研究機構

• 小野 崇人

  東北大学大学院工学研究科

• ミンゴ ファン

  東北大学大学院 工学研究科

• 李 東原

  東北大学大学院 工学研究科

関連論文

• 半導体微細加工技術による電子部品の製造(小さく収める)
• 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 集積化MEMSとバイオメディカルMEMS(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
• MEMSワイヤレスセンサ
• 27pPSA-47 磁気共鳴力顕微鏡の開発V : 磁石搭載カスタムカンチレバーを用いた3D-ESR-MRI(領域3ポスターセッション(量子スピン系・フラストレーション系等),領域3,磁性,磁気共鳴)
• 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
• 割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計
• シリコン技術
• 光ファイバーを用いた低侵襲医療用マイクロデバイス (特集 医療用ガラス)
• イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
• カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
• 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング
• マイクロマシン/MEMS(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• MEMSのウェーハレベルパッケージング(先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文)
• 産業再活性化に向けて : マイクロセンサや低侵襲医療ツールの研究経験から(日本のME産業発展における真の問題点と解決策)
• CT-1-2 MEMSデバイスに関わる材料とプロセス技術(CT-1. サスティナブル社会のための先端デバイス・材料とプロセス技術の現在と未来,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
• マイクロアクチュエータ利用のMEMS(アクチュエータ,チカラのみなもと)
• 安全のためのMEMSセンサ
• CT-2-1 MEMS関連のビジネス化(CT-2.ナノ・メカ・バイオ機能材料のデバイス・システムへの応用の新展開,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
• 《第8回》 マイクロセンサ
• 超微細加工への挑戦 : シリコン・マイクロマシニング(創立100周年記念 これからのつくる技術)
• 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー -センサー・マイクロマシンの研究開発-
• カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
• 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
• MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して (特集 光MEMSの現状と展望)
• MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
• 東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点とその狙い (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
• クリーンエネルギーの町「くずまき」の取り組み
• モノリシックPZT多軸マイクロステージ (特集 MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい)
• シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子
• K16 ナノ構造を集積化したマイクロシステムとその応用
• 光による計測・分析技術の生命科学工学分野への新展開
• ナノテクノロジーのためのツールとしてのMEMS
• 近接場光学とMEMS技術
• MEMSとナノテクノロジー
• 近接場光増強のための表面プラズモングリッドの作製
• マイクロマシンとナノプローブ
• [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス, MEMS, 一般)
• [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般)
• マイクロマシニングとナノプローブ(加工・記録)(近接場科学の工学応用をめざして)
• 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• DWDM用MEMS光アッテネータ
• MEMSセンサとセンシング技術
• 高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術の将来
• レーザ支援エッチングによるPZTの高アスペクト比加工
• Nanomechanical Structure with Integrated Carbon Nanotube
• Pattern Transfer of Self-Ordered Structure with Diamond Mold
• Mechanical Energy Dissipation of Multiwalled Carbon Nanotube in Ultrahigh Vacuum
• ナノリソグラフィーをめざすマイクロシステム (特集 ナノ加工技術)
• MEMS技術の最新動向--東北大学におけるプロジェクト (特集 応用分野を拡大するマイクロマシン製品/MEMS技術)
• 専門家間のMEMS技術相互理解(専門家間の科学技術相互理解, 科学技術の相互理解)
• MEMS総論 (特集 MEMS(微小電気機械システム)の開発・最前線)
• MEMS研究の実用化と産学間連携研究 (特集:ナノテクノロジーにおけるMEMSとその応用)
• 高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
• マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
• 2810 カーボンナノチューブの電界誘起成長とそのプローブ顕微鏡への応用
• MEMSからNEMSへ
• ナノメカニクス(ナノテクノロジー)
• 高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作 (特集 ナノ・フォトニクス)
• 高密度記録を目指すマルチプローブ
• 光記録用マイクロマシン (特集 最近のMEMS技術)
• AFM応用などに可能性が広がるナノマシニング技術 (特集 ナノテクノロジー)
• カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針作製への応用
• マイクロマシニングと低侵襲医療
• 近接場光学シリコンプローブのためのサブミクロン開口の作製
• 圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• MEMSによるセンサの革新
• 使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
• ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
• 微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発
• カーボンナノチューブの選択成長とデバイスへの応用
• 24・7 NEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• SPMとマイクロマシニング
• STMを用いた微細構造体の作製
• 医科機器へのマイクロマシン技術の応用と課題(マイクロマシンとPoint of Care Testing(POCT))
• 電磁駆動型ねじれ振動子の走査型プローブ顕微鏡への応用
• 713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
• ナノマシニングと近接場応用
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
• MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
• LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器
• ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
• LSI-体型赤外線リニアセンサアレイの開発
• レーザーのマイクロマシンへの応用
• 3 ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ(マイクロマシンの現状と動向)
• シリコンエッチング技術のアプリケーション
• 走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用
• ナノメートル加工の応用(2) -ナノメカニックスへの応用-
• MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
• LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
• MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作
• RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ : 物理モデルを用いた設計と試作によるその検証
• マイクロマシン/MEMS
• ナノ計測を可能にするツール
• CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
• 役に立つMEMSに向けて
• 162 光制御型電子線露光用マイクロ電子源アレイの作製(生産加工・工作機械/設計工学・システム/機械材料・材料加工,一般講演)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク