圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ
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概要
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- 1996-11-11
著者
-
江刺 正喜
東北大学 原子分子材料科学高等研究機構
-
南 和幸
山口大
-
長尾 勝
トヨタ自動車(株)車両技術本部第3電子技術部
-
長尾 勝
トヨタ自動車
-
南 和幸
東北大学 機械電子工学科
-
長尾 勝
トヨタ自動車(株)
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