高速レ-ザCVDによるマイクロアセンブリ
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- ベローズ型静電マイクロアクチュエータ
- 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
- Deep ICPRIEとXeF_2ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ
- 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
- Deep ICPRIE とXeF_2ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ
- 5502 静電エネルギーと弾性エネルギーを協働させた新規なマイクロアクチュエータの基礎研究(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
- 207 フレキシブルなMRマイクロプローブの基礎研究(GS 精密機械、機素潤滑設計)
- マイクロマシニングによるMR信号検出プローブの開発(G.S. アクチュエータ,センサーおよび制御,OS4:ダイナミクス・コントロールの基礎とその応用技術)
- 円筒面へのパターン転写プロセスにおける転写分解能評価(G.S. 画像・計測解析,OS5:宇宙環境の高度利用を目指して)
- 繊毛電極分布型静電マイクロアクチュエータの性能評価(情報・知能・精密機器III)
- ポリマー製MR対応ステントの開発(バイオエンジニアリングI)
- 3226 繊毛電極分布型静電マイクロアクチュエータの動作特性
- 円筒面へのパターン転写プロセスの開発と高機能ステント製作への応用
- 円筒面へのパターン転写プロセスの開発と高機能ステント製作への応用(機械力学,計測,自動制御)
- マイクロマシニングによるナノアクチュエータの展望(制御・システム)(近接場科学の工学応用をめざして)
- 1304 繊毛を用いた静電マイクロアクチュエータ
- 1303 導波路直接駆動型光デバイスの試作
- 1302 単結晶シリコンへの炭素拡散による炭化珪素/珪素構造体製作の基礎研究
- 1301 円筒面露光法を用いた高機能ステントの製作
- 紫外レーザによる金属室温CVD
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- カテーテル搭載用光ファイバ圧力センサ
- MICROMACHINED 125μm DIAMETER ULTRA MINIATURE FIBER-OPTIC PRESSURE SENSOR FOR CATHETER
- Precise Micro-Nanomachining of Silicon
- 室温での導電性物質のレーザ支援CVD
- ミミズのような蠕動運動システム
- CWUVレーザCVDによる室温での導電パターン描画
- An Electrostatic Servo Capacitive Pressure Sensor
- Capacitive AFM Probe for High Speed Imaging
- シリコン振動型角速度センサ
- 圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ
- 容量型非冷却赤外イメージセンサ
- 静電浮上型慣性計測システムの基礎研究
- T1602-2-1 円筒面上での反応性イオンエッチング技術の開発([T1602-2]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
- 連続紫外レーザによる高速CVDを利用したマイクロアセンブリ
- 高速レ-ザCVDによるマイクロアセンブリ
- 封止されたマイクロメカニカルデバイスのダンピング制御
- Fabrication of Reactive Ion Etching Systems for Deep Silicon Machining (特集:マイクロマシン加工技術)
- 光マイクロ加工
- 歪みの少ない陽極接合
- レーザーのマイクロマシンへの応用
- マイクロマシンと光技術 (マイクロマシン)
- マイクロマシンのための三次元微細加工技術
- 分布型静電マイクロアクチュエ-タ (マイクロマシン)
- D-2-4 垂直可動型非線形板バネの提案とFEMシミュレーションによる設計(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- 717 細胞への動的圧縮刺激マイクロデバイスの設計と試作(バイオエンジニアリングIII)
- 718 PEG修飾表面の微細加エプロセス耐性の検討(バイオエンジニアリングIII)