1302 単結晶シリコンへの炭素拡散による炭化珪素/珪素構造体製作の基礎研究

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2002-02-21

著者

• 南 和幸

  山口大

• 南 和幸

  山口大学大学院医学系研究科応用医工学系専攻

• 南 和幸

  山口大院

• 鹿毛 信治

  山口大

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