ナノマシニングと近接場応用

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概要

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シリコンのマイクロマシニングにより容量型の原子間カ顕微鏡(AFM)プローブを作製した。容量型AFMプローブは、カンチレバーのそりを電気的に検出でき、さらに静電引カに上りプローブを駆動できる利点がある。一方、近接場走査型顕微鏡(NSOM)に代表されるように近接場光を用いれば光の波長以下の分解能をえることができる。微細開口を一括に作製するプロセスを開発し、容量型AFMプローブの探針先端に微細な開口を形成することができた。このプローブを利用しNSOMとAFM像のとの同時観察を行った。また、より高感度・高速応答のプローブを実現することを目的として、より小型のカンチレバーを作製し、その機械特性の評価を行った。センサの小型化により、共振周波数は増加しQ値は減少する。振動型のカセンサーとしての感度は下げることなく、応答性をあげることが可能になる。また、近接場を利用した微細パターン転写を試み、光の回折限界を越える微細パターンの一括転写が可能であることを確認した。
1999-03-05

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