電池レス無線MEMSセンサ-SNA-MEMS-の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 計測自動制御学会の論文
- 2007-02-10
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
積 知範
オムロン
-
佐々木 昌
オムロン株式会社技術本部
-
佐々木 昌
オムロン(株)先端デバイス研究所
-
佐々木 昌
オムロン株式会社 中央研究所
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
積 知範
オムロン株式会社先端デバイス研究所マイクロマシニンググループ
-
積 知範
オムロン株式会社 先端デバイス研究所
-
杉山 進
立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科
-
佐々木 昌
オムロン株式会社
-
杉山 進
立命館大学
関連論文
- 発電用マイクロレシプロエンジンの設計
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- MEMS構造を用いたタングステンシリサイド薄膜の特性評価
- ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を持つポリマーMEMSデバイスの低コスト製作プロセスの研究
- 2P5-4 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ(ポスターセッション)
- 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ (超音波)
- シリコン歪ゲージを用いた力計測用マイクロセンサ : 力センサの構造設計, 試作, 評価実験
- 1A1-D02 可変焦点ミラーを用いた三次元画像入力システムの試作
- SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- 高感度機械量センサのためのナノ材料の物性の測定と解析
- US2010-28 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ(医用超音波,アコースティックイメージング,一般)
- 円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究
- Sensors 2007 The 6th Annual IEEE Conference on Sensors 報告
- 電池レス無線MEMSセンサ-SNA-MEMS-の開発
- マルチチップサービス初回ランで試作したアナログICの報告
- 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価
- 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 425 シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の特性評価(WS-1 マイクロデバイスの加工と材料評価)
- マイクロプロセス技術によるマイクロコネクタの製作
- n型β-SiCのピエゾ抵抗効果の電子輸送と変形ポテンシャル理論に基づく解析
- 単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価
- 2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
- センサ用薄膜内部応力のアニール効果のラマン分光法による検討
- 価電子バンドに基づくp型Siのピエゾ抵抗効果の解析
- マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発
- 応力の3軸成分を有効利用したピエゾ抵抗型カセンサ
- 特別講演1 MEMSが拓くメカトロニクスの将来 (第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- 3P3-2 直線状***ージョンマグネトロンスパッタを用いた(112^^-0)配向ZnO圧電膜の結晶性(ポスターセッション)
- SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法
- 先端光学デバイス創製用SR光ナノフォーミング金型の開発 (特集 中小企業が切り拓く先端的型技術--折り返しを迎えた戦略的基盤技術力強化事業) -- (超微細・精密・複雑構造部品成形加工金型技術)
- 展望 放射光による微細加工 (特集 放射光と高分子)
- 放射光リソグラフィーによる3次元マイクロ・ナノ構造の製作
- センサ/アクチュエータMEMSにおけるパッケージング技術
- サーモパイルを用いた気体用熱式フローセンサの開発と応用
- サーモパイルを用いた熱式MEMSフローセンサの開発
- 有接点RF MEMSスイッチ/リレー用静電駆動アクチュエータの開発
- 有接点RF MEMSリレーの開発
- 高周波マイクロマシンドリレー
- 高周波MMRの開発
- 解説 マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー(ファンダリー・ネットワーク構築に向けて) (特集 マイクロマシン--実用化とナノ領域への展開)
- 放電プラズマ焼結法を利用した金属間化合物系材料の製造--MEMSへの応用をねらったマイクロパーツの製作 (特集 放電プラズマ焼結法(SPS)による新材料開発)
- 直線状***ージョンマグネトロンスパッタリングによる(112^^-0)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
- LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の製作に関する研究
- 静電容量式圧力センサの高感度設計
- 超音波プローブ用アレイ型振動子の作製
- バルクセラミックスPb(Zr, Ti)O_3を用いた圧電マイクロアクチュエータの作製
- PZTバルク/Siダイアフラム構造圧電型圧力センサの構造設計
- 1Pb-54 穿刺用リング型超音波プローブの基礎特性(ポスターセッション)
- 放射光による微細加工
- LIGA プロセスによる3次元微細加工
- 絶好のチャンス
- シンクロトロン放射光の整形ビームによるPMMAの三次元加工法の提案
- 544 ラチエット機構を有するマイクロコンテナを用いたマイクロトランスポーテーションシステム(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- マイクロフォース・モーメントセンサ埋め込み型柔軟指先の製作と圧縮実験による評価(機械力学,計測,自動制御)
- 新技術創出のキーとなるMEMSテクノロジー(「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
- 放射光リソグラフィーによる三次元マイクロ・ナノ構造の形成
- 低G検出用静電容量型加速度センサ
- O_3-TEOS膜によるMEMS貫通配線絶縁膜の評価(次世代電子機器における先端実装技術と環境調和型実装技術論文)
- 2A1-H5 ウエアラブルな可変拘束要素の開発(70. 人間機械協調I)
- 微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス(マイクロマシン関連技術)
- 集団同期のネットワークセンシングへの応用
- 半導体加速度センサの車速検知への応用
- 超小型高周波リレー--超小型かつ優れた高周波信号スイッチング特性を実現したマイクロマシンドリレーの開発について
- 有接点SPDT RF-MEMSスイッチ用低電圧駆動静電アクチュエータの開発
- 静電駆動式ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの力学的特性評価
- TC-1-4 高周波リレーMMR (Micromachined Relay)
- 小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討
- 2-3 RF MEMSスイッチ(2. RF MEMS)(日本のモノづくりを支えるJisso技術)
- MA-SPS 粉末焼結法の LIGA プロセスへの応用
- マイクロ引張試験チップによるカーボンナノワイヤの機械・電気特性評価に関する研究(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
- 無線センサネットワークの開発動向
- 気体用熱式半導体フローセンサの開発--サーモパイル測温体に適したHパターンエッチングホールについて
- 圧電バイモルフ型マイクロバルブの製作
- 立命館大学21世紀COEプログラム「マイクロ・ナノサイエンス・集積化システム」の紹介
- RF-MEMSスイッチ(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」)
- TBC-1-5 MEMSを活用した可変手段(TBC-1.ソフトウェア無線実現のための可変RF回路技術)
- TBC-1-5 MEMSを活用した可変手段(TBC-1.ソフトウェア無線実現のための可変RF回路技術)
- マイクロマシニング・マルチチップサービスの期待と課題
- 無線センサネットワークの開発動向
- 2P2-B13 MEMSフォースセンサを用いたソフトフィンガ型触覚デバイスの開発と接触実験
- 立命館大学 マイクロシステム技術研究センター
- マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー(ファンダリー・ネットワーク構築に向けて)
- マイクロミラーアレーを用いた高感度サーモパイル型赤外線アレーセンサの開発(電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文)
- ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を接合積層した大変位ポリマーMEMSの製作プロセス開発
- UV厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作
- マイクロミラーアレーを用いた高感度サーモパイル型赤外線アレーセンサの開発
- 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- 穿刺用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理
- 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理
- 27aGJ-7 マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状(27aGJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 穿刺用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理