高周波MMRの開発
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概要
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マイクロマシンドリレー(以下MMRと略)実用化の課題である復帰力向上を静電アクチュエータに非線型ばね構造を採用することで解決した.電圧24Vで可動電極面積1.4mm^2の静電アクチュエータを駆動した場合, 線形ばねの場合と比較して3倍の復帰力が得られることを解析的に明確にし, 安定した信号開閉動作を実現した.またパッケージングを施した状態における高周波特性のシミュレーションと実測により, PINダイオードやGaAs MESFETと同等以上の特性をもつことを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-01-01
著者
-
積 知範
オムロン
-
藤井 充
オムロン株式会社 技術本部 中央研究所
-
積 知範
オムロン 先端デバイス研
-
積 知範
オムロン株式会社先端デバイス研究所マイクロマシニンググループ
-
積 知範
オムロン株式会社 先端デバイス研究所
-
坂田 稔
オムロン 中研
-
坂田 稔
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
-
坂田 稔
オムロン(株)筑波研究所
-
今仲 行一
オムロン株式会社 技術本部 中央研究所
-
佐野 浩二
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
-
速水 一行
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
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