座屈型マイクロアクチュエータ用PZT薄膜の開発
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概要
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スキャニングミラーなどの光学素子の駆動源への応用を目的として、マイクロアクチュエータの開発を行っている。このアクチュエータには、低電圧駆動に適している圧電薄膜を用いた。アクチュエータ実現には、高い圧電定数d_<31>と低内部応力であるPZT薄膜が必要である。我々は、PZT薄膜の組成比と結晶構造の最適化をスパッタとアニールプロセスにより行い、圧電特性(圧電定数d_<31>)および機械特性(ヤング率、内部応力)の評価を行った。その結果、圧電定数d_<31>はバルクPZTと同程度である-100pC/Nが得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-04-19
著者
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
坂田 稔
オムロン 中研
-
坂田 稔
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
-
坂田 稔
オムロン(株)筑波研究所
-
若林 秀一
オムロン株式会社 中央研究所
-
戸谷 浩巳
オムロン株式会社 中央研究所
-
後藤 博史
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン株式会社技術本部中央研究所
-
竹内 司
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン
-
竹内 司
オムロン株式会社中央研究所
-
戸谷 浩巳
オムロン(株)中央研究所
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