矢田 恒二 | オムロン

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概要

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関連著者

• 矢田 恒二

  オムロン株式会社技術本部中央研究所

• 矢田 恒二

  オムロン

• 後藤 博史

  サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員

• 矢田 恒二

  オムロン(株)

• 池田 正哲

  オムロン

• 坂田 稔

  オムロン 中研

• 坂田 稔

  オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ

• 坂田 稔

  オムロン(株)筑波研究所

• 池田 正哲

  オムロン株式会社 中央研究所

• 後藤 博史

  オムロン(株)

• 後藤 博史

  オムロン株式会社 中央研究所

• 池田 正哲

  オムロン(株)中央研究所

• 若林 秀一

  オムロン株式会社 中央研究所

• 戸谷 浩巳

  オムロン(株)中央研究所

• 松本 幹雄

  オムロン株式会社 中央研究所

• 戸谷 浩巳

  オムロン(株)先端デバイス研究所

• 松本 幹雄

  オムロン(株)中央研究所

• 坂田 稔

  オムロン(株)

• 竹内 司

  オムロン株式会社中央研究所

• 後藤 博史

  オムロン筑波研究所

• 竹内 司

  オムロン(株)セミコンダクタ事業部マイクロレンズ開発部

• 戸谷 浩巳

  オムロン株式会社 中央研究所

• 秋葉 朗

  オムロン株式会社 中央研究所

• 秋葉 朗

  オムロン(株)中央研究所

• 竹内 司

  オムロン株式会社 中央研究所

• 池田 正晢

  オムロン株式会社 中央研究所

• 細谷 克己

  オムロン(株)筑波研究所

• 細谷 克己

  オムロン

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著作論文

• 機能集積型マイクロスキャナーを用いた小型光走査型イメージセンサー
• スパッタで作成したPZT薄膜と2次元スキャナへの応用
• マイクロスキャナを用いた細管内壁の3次元形状検出用スパイラル走査型小型イメージセンサ
• 機能集積化シリコンマイクロスキャナの開発
• Siマイクロスキャナを用いた小型距離センサの開発
• 受光素子とピエゾ抵抗を集積したシリコンマイクロスキャナの開発 -走査感度の向上と, 走査位置検出の高精度化-
• 座屈型圧電アクチュエータの静特性
• 座屈型マイクロアクチュエータ用PZT薄膜の開発
• シリコンマイクロマシニングによる機能集積型光スキャナの開発
• PZT薄膜を用いたマイクロアクチュエータの研究
• ワブルモータの開発

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