池田 正哲 | オムロン株式会社 中央研究所
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概要
関連著者
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池田 正哲
オムロン
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後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
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池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
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後藤 博史
オムロン(株)
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オムロン(株)中央研究所
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オムロン株式会社技術本部中央研究所
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オムロン 中研
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坂田 稔
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
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オムロン(株)筑波研究所
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オムロン(株)先端デバイス研究所
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オムロン中央研究所
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増田 貴弘
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オムロン株式会社 中央研究所
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矢田 恒仁
オムロン(株) 中央研究所
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増田 貴弘
オムロン
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増田 貴弘
オムロン株式会社 中央研究所
著作論文
- 小型2次元光走査機構の開発 : 第2報, 低電圧駆動, 大走査角化を目的とする2自由度板ばね振動子の高性能化
- シリコンマイクロミラーを用いた超小型2次元光センサ
- 基板積層型1チップ光スキャニングセンサの試作と性能評価
- 機能集積型マイクロスキャナーを用いた小型光走査型イメージセンサー
- スパッタで作成したPZT薄膜と2次元スキャナへの応用
- 最近の技術から--機能集積型マイクロスキャナ-を用いた小型光走査型イメ-ジセンサ-,面発光型半導体レ-ザ-を用いたマイクロエンコ-ダ-,圧電アクチュエ-タ-を用いた可変焦点レンズ,高電圧マイクロ光電変換デバイス,レ-ザ-駆動マイクロポンプ (光マイクロマシン)
- マイクロスキャナを用いた細管内壁の3次元形状検出用スパイラル走査型小型イメージセンサ
- 機能集積化シリコンマイクロスキャナの開発
- Siマイクロスキャナを用いた小型距離センサの開発
- 受光素子とピエゾ抵抗を集積したシリコンマイクロスキャナの開発 -走査感度の向上と, 走査位置検出の高精度化-
- 2次元マイクロ光スキャナを用いた細管内壁3次元形状認識センサの開発