後藤 博史 | オムロン(株)
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概要
関連著者
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後藤 博史
オムロン(株)
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後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
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オムロン
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加守田 裕樹
オムロン(株)
著作論文
- 小型走査型2次元イメージセンサの開発
- 小型2次元光走査機構の開発 : 第2報, 低電圧駆動, 大走査角化を目的とする2自由度板ばね振動子の高性能化
- 小型二次元光走査機構の開発 : 第1報, 走査原理と基本性能
- スパッタで作成したPZT薄膜と2次元スキャナへの応用
- マイクロスキャナを用いた細管内壁の3次元形状検出用スパイラル走査型小型イメージセンサ
- 機能集積化シリコンマイクロスキャナの開発
- Siマイクロスキャナを用いた小型距離センサの開発
- 2次元マイクロ光スキャナを用いた細管内壁3次元形状認識センサの開発
- マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
- マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
- 座屈型圧電アクチュエータの静特性
- マイクロ光スキャナ応用センサ(メカトロニクスを革新する小形・マイクロセンサ)