戸谷 浩巳 | オムロン(株)中央研究所
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概要
関連著者
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戸谷 浩巳
オムロン(株)中央研究所
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サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
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著作論文
- C-3-4 複製ポリマー光導波路を用いた WDM モジュール
- C-3-29 複製ポリマー光導波路を用いた WDM カプラ
- 基板積層型1チップ光スキャニングセンサの試作と性能評価
- マイクロスキャナを用いた細管内壁の3次元形状検出用スパイラル走査型小型イメージセンサ
- Siマイクロスキャナを用いた小型距離センサの開発
- 2次元マイクロ光スキャナを用いた細管内壁3次元形状認識センサの開発
- 二次元マイクロ光スキャナ
- マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
- マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
- マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
- 座屈型マイクロアクチュエータ用PZT薄膜の開発