マイクロマシニング技術で製作した光走査型2次元マイクロイメージセンサ
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概要
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マイクロロボットの視覚機能に応用可能な, 光走査型2次元マイクロイメージセンサを開発した。本センサは, マイクロマシニング技術で製作された圧電薄膜一体型2次元マイクロ光スキャナ, 光源, 受光素子, および微小光学素子が外形2mm×4mm×3mmの1チップ内に集積一体化されており, 対象物の形状および寸法の計測が計測分解能0.5mmで可能である。また本センサは, 超小型符号読み取り装置や超小型レーザ走査式表示装置への応用も可能である。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1999-10-21
著者
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
後藤 博史
オムロン(株)
-
松本 幹雄
オムロン株式会社 中央研究所
-
戸谷 浩巳
オムロン(株)先端デバイス研究所
-
松本 幹雄
オムロン(株)中央研究所
-
戸谷 浩巳
オムロン(株)中央研究所
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