座屈型圧電アクチュエータの静特性
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概要
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- 1996-05-29
著者
-
矢田 恒二
オムロン(株)
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
後藤 博史
オムロン筑波研究所
-
坂田 稔
オムロン 中研
-
坂田 稔
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
-
坂田 稔
オムロン(株)筑波研究所
-
竹内 司
オムロン(株)セミコンダクタ事業部マイクロレンズ開発部
-
後藤 博史
オムロン(株)
-
若林 秀一
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン株式会社技術本部中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン
-
竹内 司
オムロン株式会社中央研究所
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