PZT薄膜を用いたマイクロアクチュエータの研究

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概要

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• 能動型光学デバイスへの応用を目的とした圧電薄膜マイクロアクチュエータの研究を行っている。圧電薄膜で形成したダイアフラムの座屈変形を利用したアクチュエータを、可変ミラーとして用いたマイクロフォーカシング機構を検討した。その第一段階として、スパッタ法によるPb(Zr_x,Ti_<1-x>)O_3(PZT)薄膜形成と、ECRドライエッチングによる微細加工の条件抽出を行った。その結果、圧電定数d_<31>=45pC/N、エッチレート1000Å/min、選択比0.56が得られ、このPZT薄膜はマイクロフォーカシング機構に使用可能であることを確認した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1995-06-16

著者

• 後藤 博史

  サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員

• 坂田 稔

  オムロン 中研

• 坂田 稔

  オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ

• 坂田 稔

  オムロン(株)筑波研究所

• 若林 秀一

  オムロン株式会社 中央研究所

• 後藤 博史

  オムロン株式会社 中央研究所

• 矢田 恒二

  オムロン株式会社技術本部中央研究所

• 矢田 恒二

  オムロン

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