後藤 博史 | オムロン株式会社 中央研究所
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概要
関連著者
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後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
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後藤 博史
オムロン株式会社 中央研究所
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著作論文
- 基板積層型1チップ光スキャニングセンサの試作と性能評価
- 機能集積型マイクロスキャナーを用いた小型光走査型イメージセンサー
- 受光素子とピエゾ抵抗を集積したシリコンマイクロスキャナの開発 -走査感度の向上と, 走査位置検出の高精度化-
- 座屈型マイクロアクチュエータ用PZT薄膜の開発
- シリコンマイクロマシニングによる機能集積型光スキャナの開発
- PZT薄膜を用いたマイクロアクチュエータの研究