受光素子とピエゾ抵抗を集積したシリコンマイクロスキャナの開発 -走査感度の向上と, 走査位置検出の高精度化-
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
池田 正哲
オムロン
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
坂田 稔
オムロン 中研
-
坂田 稔
オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ
-
坂田 稔
オムロン(株)筑波研究所
-
池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
-
後藤 博史
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン株式会社技術本部中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン
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