マイクロスキャナを用いた細管内壁の3次元形状検出用スパイラル走査型小型イメージセンサ
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-11-05
著者
-
矢田 恒二
オムロン(株)
-
池田 正哲
オムロン
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
後藤 博史
オムロン(株)
-
池田 正哲
オムロン(株)中央研究所
-
戸谷 浩巳
オムロン(株)先端デバイス研究所
-
池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン株式会社技術本部中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン
-
戸谷 浩巳
オムロン(株)中央研究所
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