スパッタで作成したPZT薄膜と2次元スキャナへの応用
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概要
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- 1998-02-17
著者
-
矢田 恒二
オムロン(株)
-
池田 正哲
オムロン
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
後藤 博史
オムロン(株)
-
池田 正哲
オムロン(株)中央研究所
-
松本 幹雄
オムロン株式会社 中央研究所
-
池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
-
秋葉 朗
オムロン株式会社 中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン株式会社技術本部中央研究所
-
秋葉 朗
オムロン(株)中央研究所
-
松本 幹雄
オムロン(株)中央研究所
-
矢田 恒二
オムロン
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